喷锡之前清洁处理要做什么？

脱脂清洗微蚀水洗酸洗(中和)水洗热风干。

使用脱脂剂者，一般用酸性，且为浸泡方式而非喷洒方式，此程序依各厂前制程控制状况为选择性。微蚀则是关键步骤，若能控制微蚀深度在0.75~1.0μm(30~40μ in)，则可确保铜面之有机污染去除干净。至于是否须有后酸洗(中和)，则视使用微蚀剂种类，见表。

此微蚀最佳方式，是以水平喷洒的设备为之维持一定的微蚀速率，以及控制后面水洗，热风吹干间隔的时间，防止再氧化的情形出现；并和喷锡速度密切搭配，使生产速率一致。

属于前制程严重的问题，例如S/M残留，或者显影不净问题，则再强的微蚀都 无法解决这个问题。

前清洁处理的好坏，有以下几个因素的影响：

－化学剂的种 －活性剂的浓度（如氧化剂，酸）

－温度

－作用时间

槽液寿命，视铜浓度而定，所以为维持蚀刻速率的稳定，可以分析铜浓度来控制添加新鲜的药液。